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LT-01鉭酸鋰拋光液        

優(yōu)點(diǎn)：1、拋光速率大于15μm /h。 2、拋光表面平整光滑，無(wú)明顯劃傷，表面粗糙度達(dá)到0.2nm以下。 3、這是一款酸性拋光液，有較快的拋光速率。

應(yīng)用：4寸鉭酸鋰等晶圓拋光。

LT-02鉭酸鋰拋光液   

優(yōu)點(diǎn)：1、拋光速率大于10μm/h 。2、拋光表面平整光滑，無(wú)明顯劃傷，表面粗糙度達(dá)到0.15nm以下。 3.這是一款堿性拋光液，可以獲得好的表面。

應(yīng)用：4寸鉭酸鋰晶圓等的精拋。